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真空等離子清洗機(jī)的真空泵有幾種?該如何選擇?

更新時(shí)間:2021-11-08      點(diǎn)擊次數(shù):2907
  真空泵對(duì)真空等離子清洗機(jī)的真空度、抽真空時(shí)間以及整臺(tái)設(shè)備的處理效果都有重要影響,所以選擇合適的真空泵是對(duì)一臺(tái)真空等離子清洗機(jī)的品質(zhì)至關(guān)重要。真空等離子清洗機(jī)上常用的真空泵分為兩種,分別是油式真空泵和干式真空泵。今天我們就來(lái)介紹一下等離子清洗機(jī)上所用到的真空泵種類和各自特點(diǎn),以及選擇真空泵時(shí)的注意點(diǎn)。
  1.油式真空泵
  油式真空泵是通過(guò)油來(lái)密封,潤(rùn)滑,降溫的真空泵的統(tǒng)稱。在真空等離子清洗機(jī)上的一種油式真空泵就是旋片式真空泵。
  ①旋片式真空泵
  旋片式真空泵是一種油封式機(jī)械真空泵,其主要的部件有泵體、轉(zhuǎn)子、旋片、端蓋、彈簧等。旋片式真空泵有單級(jí)和雙級(jí)兩種,等離子清洗機(jī)常用的是雙級(jí)旋片式真空泵,所謂雙級(jí)旋片式真空泵就是在結(jié)構(gòu)上將兩個(gè)單級(jí)泵串聯(lián)起來(lái)。
  旋片式真空泵的泵腔內(nèi)偏心地裝有一個(gè)轉(zhuǎn)子,而轉(zhuǎn)子的外圓與泵腔的內(nèi)表面相切,同時(shí)轉(zhuǎn)子槽內(nèi)裝有兩個(gè)帶彈簧的旋片。轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)時(shí),靠離心力和彈簧的彈力使旋片頂端與泵腔體內(nèi)壁保持接觸,轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)帶動(dòng)旋片沿泵腔內(nèi)壁滑動(dòng)。旋片式真空泵利用兩個(gè)旋片將泵腔體分為3個(gè)部分,因?yàn)檗D(zhuǎn)子是偏心安裝的,所以被分成的3個(gè)部分的空間會(huì)隨著轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)而變化,利用壓強(qiáng)差來(lái)達(dá)到抽氣的目的。
  旋片式真空泵在真空等離子清洗機(jī)上大多數(shù)用在小型腔體(80L以下)或者作為真空泵組的前級(jí)泵。
  旋片式真空泵具有以下這些優(yōu)點(diǎn):
  第一,旋片式真空泵在抽除腔體內(nèi)的干燥氣體的同時(shí),也能抽除一定量的可凝性氣體和氣水混合物;
  第二,結(jié)構(gòu)相對(duì)簡(jiǎn)單,維護(hù)保養(yǎng)起來(lái)方便;
  第三,體積小、重量較輕,便于安裝移動(dòng);
  第四,振動(dòng)微小,噪音低;
  第五,價(jià)錢相對(duì)低一些等。
  2.干式真空泵
  干式真空泵是無(wú)油干式機(jī)械真空泵的簡(jiǎn)稱。干式真空泵是不用油、水或其它聚合物等流體充當(dāng)工作介質(zhì)的一種真空泵。這樣使得干式真空泵在潔凈度方面更好,防止了油污染,所以干式真空泵大多用在對(duì)潔凈度要求比較高的真空等離子清洗機(jī)上,比如說(shuō)半導(dǎo)體領(lǐng)域、生物醫(yī)療領(lǐng)域以及航天航空領(lǐng)域等。在真空等離子清洗機(jī)上常用的一種干式真空泵就是干式螺桿真空泵。
 ?、俑墒铰輻U真空泵
  干式螺桿真空泵是利用一對(duì)螺桿,在真空泵殼中作同步高速反向旋轉(zhuǎn),從而產(chǎn)生作用力來(lái)實(shí)現(xiàn)吸氣和排氣功能的真空泵。因?yàn)楦墒铰輻U真空泵在工作時(shí),相互之間無(wú)磨擦,運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn),噪音低,所以在工作腔無(wú)需潤(rùn)滑油。干式螺桿真空泵是一款性能優(yōu)秀的干式真空泵,具有許多比其他真空泵好的地方:
  第一,干式螺桿真空泵的極限真空度很高,最高極限真空可達(dá)到1-2Pa;
  第二,干式螺桿真空泵性能穩(wěn)定,噪音低,故障率低,維護(hù)簡(jiǎn)單;
  第三,干式螺桿真空泵的一種工作腔和螺桿轉(zhuǎn)子表面均有防腐涂層,可適應(yīng)惡劣工況。
  

蘇公網(wǎng)安備 32058302004421

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